芯片制造关键设备再突破!离子注入机实现全谱系产品国产化
编辑: 王瑞颖 | 时间: 2021-03-17 11:17:53 | 来源: 新华社 |
中国电子科技集团有限公司17日对外公布,该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术,已成功实现离子注入机全谱系产品国产化,包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,为中国芯片制造产业链补上重要一环,为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。(记者温竞华,海报设计:贾伊宁)
标签:科技
新闻推荐
- 竞争力领跑全球 中国生物制造产业总规模近万亿元2025-09-26
- 4.8亿元补贴来了!全国国庆文化和旅游消费月启动2025-09-26
- 香港再次获评为全球最自由经济体2025-09-26
- “精彩青岛我来了”两岸媒体青岛行 从服装智造到高铁装备 见证大陆硬核实力2025-09-26
- 跆拳为媒牵两岸 文脉共情聚同心——2025年海峡两岸青少年跆拳道公开赛侧记2025-09-26
- 四十载艺术积累 非遗传承人杨惠姗琉璃马新作在沪全球首发2025-09-26