芯片制造关键设备再突破！离子注入机实现全谱系产品国产化
| 编辑: 王瑞颖 | 时间: 2021-03-17 11:17:53 | 来源: 新华社 |
中国电子科技集团有限公司17日对外公布，该集团旗下装备子集团攻克系列“卡脖子”技术，已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，包括中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，为中国芯片制造产业链补上重要一环，为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。（记者温竞华，海报设计：贾伊宁）
标签：科技
新闻推荐
- 解码“十五五”｜三大城市群，合力进阶2026-07-23
- 九载和歌同行 两岸青年交流的三重跨越2026-07-23
- 航行警告！台湾海峡部分海域进行实弹射击 禁止进入2026-07-23
- 菲律宾两公务船侵闯中国黄岩岛管辖海域 中国海警依法驱离2026-07-23
- 国台办：哪里有同胞的期待和诉求，哪里就会有祖国的关爱和守护2026-07-22
- 国台办：乐见台湾同胞用上大陆好的产品 ，限制阻挠大陆好产品入台的是民进党当局2026-07-22
